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住友低溫泵 半導體真空泵 可提供維修服務

住友低溫泵 半導體真空泵 可提供維修服務SICERA® Ultra KV-10,安裝在腔室和渦輪分子泵之間,無需額外接口即可補充渦輪分子泵的抽水速度。KV-10出色的雙變頻器技術允許在單個水冷壓縮機上混合配置冷阱和低溫泵,從而提高生產效率并節(jié)省能源。

  • 產品型號:SICERA® Ultra KV-10
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-06-30
  • 訪  問  量:113
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產品詳情
品牌SUMITOMO/住友應用領域化工,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合

住友低溫泵 半導體真空泵 可提供維修服務SICERA® Ultra KV-10

住友低溫泵 半導體真空泵 可提供維修服務SICERA® Ultra KV-10

產品特點:

SICERA® Ultra KV-10 在線冷阱設計特點是將冷板安裝在真空室內

當水蒸氣被捕獲并在 100 K 下冷凝時,這可以實現(xiàn)可變的抽水速度

出色的雙逆變器技術允許在單個水冷壓縮機上混合配置冷阱和低溫泵,從而提高生產效率并節(jié)省能源

應用:

物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)

離子注入是制造半導體晶圓和其他集成電路至關重要的低溫表面處理工藝

半導體專用:

智能手機和平板電腦(包括內置的加速度計和陀螺儀)

電視、藍光播放器和視頻游戲機

電腦、存儲卡和 USB 閃存盤


住友低溫泵 半導體真空泵 可提供維修服務

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