在半導(dǎo)體制造向3nm以下制程節(jié)點(diǎn)加速突破的當(dāng)下，晶圓加工設(shè)備對(duì)流體輸送系統(tǒng)的穩(wěn)定性、耐久性及材料兼容性提出了嚴(yán)苛要求。而MALHATY丸八 BVC-PP系列泵憑借其出色的耐磨損高粘度設(shè)計(jì)，正在全球頂尖半導(dǎo)體企業(yè)的產(chǎn)線上驗(yàn)證著"零停機(jī)、長(zhǎng)壽命"的工業(yè)奇跡。

一、技術(shù)突破：破解高粘度蝕刻液輸送難題

在半導(dǎo)體晶圓蝕刻工藝中，氟化氫（HF）與硝酸（HNO?）混合液體的粘度可達(dá)普通水的3-5倍，傳統(tǒng)泵體在持續(xù)輸送過(guò)程中易出現(xiàn)葉輪磨損、密封失效等問(wèn)題。BVC-PP系列通過(guò)三大核心技術(shù)實(shí)現(xiàn)突破：

1. 雙流道優(yōu)化設(shè)計(jì)：采用螺旋漸擴(kuò)式流道結(jié)構(gòu)，配合316L不銹鋼軸套與碳化硅機(jī)械密封，在輸送粘度≤500mPa·s的蝕刻液時(shí)，可承受-20℃至150℃的廣泛溫差范圍，機(jī)械密封壽命突破20000小時(shí)。

2. 自潤(rùn)滑軸承系統(tǒng)：在泵軸與軸承接觸面嵌入聚苯硫醚（PPS）復(fù)合材料，該材料經(jīng)日本百富化工特殊改性后，摩擦系數(shù)降低至0.03，較傳統(tǒng)氟橡膠密封圈耐磨性提升400%。

3. 高粘度補(bǔ)償模塊：內(nèi)置壓力傳感器與變頻控制器，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)流體粘度變化并自動(dòng)調(diào)整轉(zhuǎn)速，確保在輸送光刻膠等非牛頓流體時(shí)，流量波動(dòng)控制在±1.5%以內(nèi)。

二、半導(dǎo)體晶圓設(shè)備中的典型應(yīng)用場(chǎng)景

2.1 光刻膠涂布系統(tǒng)

在12英寸晶圓光刻工藝中，BVC-PP系列泵承擔(dān)著將粘度為3000-8000cP的光刻膠以0.1-5mL/min的流量精準(zhǔn)輸送至涂布頭的任務(wù)。其核心優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在：

● 流量穩(wěn)定性：通過(guò)PID閉環(huán)控制與陶瓷壓電傳感器反饋，實(shí)現(xiàn)±0.5%的流量重復(fù)性，確保晶圓邊緣涂布均勻性（Edge Exclusion＜1mm）；

● 顆?？刂疲罕皿w內(nèi)部采用電解拋光工藝，表面粗糙度Ra＜0.1μm，配合全封閉式機(jī)械密封，將顆粒污染水平控制在Class 1（≥0.1μm顆粒數(shù)＜10個(gè)/ft3）。

2.2 CMP漿料循環(huán)系統(tǒng)

在化學(xué)機(jī)械拋光環(huán)節(jié)，BVC-PP系列泵需持續(xù)輸送含SiO?/CeO?磨粒的堿性漿料（pH值10-12，粘度1000-3000cP）。其技術(shù)突破包括：

● 抗結(jié)垢設(shè)計(jì)：流道內(nèi)壁涂覆類(lèi)金剛石（DLC）涂層，使?jié){料沉積速率降低90%，維護(hù)周期從每周1次延長(zhǎng)至每月1次；

● 壓力波動(dòng)抑制：通過(guò)變頻驅(qū)動(dòng)與蓄能器聯(lián)動(dòng)控制，將出口壓力波動(dòng)范圍壓縮至±0.05bar，避免晶圓表面產(chǎn)生劃痕缺陷。

2.3 晶圓清洗液回收系統(tǒng)

針對(duì)超純水（UPW）與SC1清洗液（NH?OH:H?O?:H?O=1:1:5）的循環(huán)利用，BVC-PP系列泵展現(xiàn)出出色的耐腐蝕性能：

● 密封可靠性：采用雙端面機(jī)械密封與氮?dú)饩彌_保護(hù)，在連續(xù)運(yùn)行2000小時(shí)后，泄漏量仍＜0.1mL/h，遠(yuǎn)優(yōu)于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的1mL/h；

● 能效優(yōu)化：通過(guò)IE3級(jí)高效電機(jī)與磁力耦合傳動(dòng)，系統(tǒng)綜合能效提升至85%，較傳統(tǒng)泵節(jié)能30%以上。

三、行業(yè)應(yīng)用案例數(shù)據(jù)

3.1 某12英寸晶圓廠CMP設(shè)備改造

某半導(dǎo)體制造商在升級(jí)28nm制程產(chǎn)線時(shí)，采用BVC-PP系列泵替代原有不銹鋼離心泵。改造后數(shù)據(jù)表明：

● 漿料輸送流量穩(wěn)定性從±3%提升至±0.8%；

● 設(shè)備綜合效率（OEE）提高12%，單線年產(chǎn)能增加1.2萬(wàn)片；

● 維護(hù)成本降低65%，年度耗材費(fèi)用節(jié)省超200萬(wàn)元。

3.2 先進(jìn)封裝領(lǐng)域的應(yīng)用突破

在晶圓級(jí)封裝（WLP）的臨時(shí)鍵合/解鍵合工藝中，BVC-PP系列泵成功解決熱熔膠（粘度10,000-20,000cP）的輸送難題。通過(guò)定制化螺桿泵頭與加熱套集成設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)：

● 熔膠溫度均勻性±1℃，避免晶圓翹曲；

● 膠量控制精度±0.01g，鍵合強(qiáng)度標(biāo)準(zhǔn)差降低至0.5MPa。

四、未來(lái)展望

MALHATY丸八BVC-PP系列泵通過(guò)材料科學(xué)、流體力學(xué)與精密制造的深度融合，為半導(dǎo)體晶圓設(shè)備提供了高可靠性、低維護(hù)的流體輸送解決方案。其技術(shù)突破不僅體現(xiàn)在性能指標(biāo)的量化提升，更在于對(duì)晶圓制造全流程污染控制的系統(tǒng)性優(yōu)化。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向3nm及以下制程邁進(jìn)，BVC-PP系列泵將持續(xù)助力行業(yè)突破良率瓶頸，推動(dòng)集成電路技術(shù)向更高精度、更低成本的方向演進(jìn)。